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枚葉式潔淨度烤箱
基本規格
對應玻璃尺寸
第1～第10世代
溫度範圍
＋90～＋300℃
溫度分布
±4.5℃（玻璃表面溫度AT ＋230℃）
潔淨度
Class4（FED規格：相當Class10）
顆粒徑0.3μm 100個以內/lft3
選配件
昇華物UNIT
